中关村论坛聚焦高端仪器创新，中科慧远碳化硅检测设备获首发殊荣

2024-04-29 09:57:22

4月26日,在工业和信息化部、北京市人民政府主办,机械工业仪器仪表综合技术经济研究所承办的“中关村论坛-高端仪器创新发展论坛”上,中科慧远“晶圆检测仪-碳化硅表面缺陷检测设备”入选高端仪器十大首发产品。

会上,工业和信息化部副部长王江平与北京市政协副主席林抚生发表致辞。来自国内外知名院士专家以及有关省市工信主管部门、行业组织、企业、科研院所、高等院校、各领域仪器仪表用户等单位450余名代表参加论坛。

此次中科慧远首发的碳化硅表面缺陷检测设备,是针对化合物半导体产业快速发展的需求而研发的。该设备能够实现崩边、划伤、微管、包裹等近二十种半导体缺陷的检测,填补了行业空白。其检测效率提升了数十倍,3分钟即可完成整片检测,并自动输出检测报告。此外,该设备可搭载品质数据监控系统,对整个生产线大数据实时分析,为工艺改善提供数据支持及决策支持。